一． 原理介紹

Alicat質(zhì)量流量計是基于層流壓差原理的一種氣體質(zhì)量流量計。當(dāng)氣體通過流量計內(nèi)部的層流元件時形成規(guī)則的層流運動狀態(tài)，使用差壓傳感器測量層流元件上兩個位置的氣體壓力差，結(jié)合氣體粘度數(shù)據(jù)和泊肅葉方程可計算出當(dāng)前工況下氣體的體積流量。再通過氣體狀態(tài)方程將該工況的體積流量補(bǔ)償為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的標(biāo)況體積流量。由于成分固定的氣體在標(biāo)況下密度是確定的，標(biāo)況體積流量X密度=質(zhì)量流量，因此也可將標(biāo)況體積流量稱為質(zhì)量流量。Alicat流量計實際測量的是以SCCM和SLPM為單位的標(biāo)況體積流量。通常標(biāo)況設(shè)定為25℃&1atm，或0℃&1atm。

二．主要特點

Alicat質(zhì)量流量計具有以下特點：

1.      響應(yīng)快：特殊的結(jié)構(gòu)和工作原理，靈敏的傳感器，使流量測量響應(yīng)時間更快，快可達(dá)到5ms響應(yīng)，每秒采集信號1000次。

2.      無需預(yù)熱：上電即可使用，無需提前預(yù)熱，節(jié)省了等待時間。

3.      多參數(shù)測量：內(nèi)置溫度、壓力傳感器，可同時測量并顯示氣體壓力、溫度、質(zhì)量流量、體積流量等多種參數(shù)，如果選配了累計流量功能，還可以測量一段時間內(nèi)流過的氣體總量。

4.      背光液晶屏：具有單色或彩色液晶屏，帶屏幕背光燈，可以更直觀的查看實時數(shù)據(jù)，方便讀數(shù)和調(diào)試。

5.      支持上百種氣體：內(nèi)置100多種氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，切換氣體模式后即可測量不同氣體，無需換算或重新校準(zhǔn)。

6.      通訊和操作模式：有多種數(shù)字通訊和模擬信號模式可供選擇，以便采集和記錄數(shù)據(jù)，也有面板按鍵可手動操作調(diào)試。

7.      精度：普通精度為±（0.8%讀數(shù)+0.2%量程）；高精度為±（0.4%讀數(shù)+0.2%量程）。

8.      量程：量程范圍寬，可定制。常規(guī)流量計小量程為0~0.5SCCM，大量程為0~5000SLPM。量程比200:1。

三．型號系列

Alicat質(zhì)量流量計產(chǎn)品有多種不同系列，以滿足不同客戶、工況和應(yīng)用的需求。

表1. Alicat質(zhì)量流量計型號類別

表2. Alicat流量計壓損數(shù)據(jù)

M系列：標(biāo)準(zhǔn)型流量計。適用于非腐蝕性氣體常規(guī)應(yīng)用，如流量測量，泄漏測試，流量比對校驗。

MS系列：耐腐蝕型流量計。適用于腐蝕性氣體流量測試。

MQ系列：耐高壓流量計。精度±2%F.S，高耐壓300PSIG，適用于高壓氣體應(yīng)用。

MW系列：低壓損流量計。高耐壓45PSIG，壓損低，對氣體的壓降/阻力較小，適用于要求壓損特別低的應(yīng)用，例如真空下流量測量，低壓力下流量測量，泄漏測試，流量比對校驗。不能用于壓力較高的應(yīng)用，高壓會導(dǎo)致傳感器損壞。建議在不超過2 bar(G)的壓力下使用。

MB系列：便攜式流量計。內(nèi)置可充電鋰電池，無需外接電源，適用于移動情況下無外部供電的應(yīng)用，例如用于流量對比校準(zhǔn)，環(huán)境監(jiān)測站大氣分析儀流量校準(zhǔn)。

MWB系列：便攜式低壓損流量計。內(nèi)置可充電鋰電池，高耐壓45PSIG，壓損與MW系列一致，對氣體的壓降/阻力較小，適用于移動低壓應(yīng)用，例如流量校準(zhǔn)、環(huán)境監(jiān)測儀器流量校準(zhǔn)。

MBS系列：便攜式耐腐蝕流量計。適用于腐蝕性氣體和移動應(yīng)用。

FP-25：大氣流量校準(zhǔn)儀。具有內(nèi)置溫度、濕度傳感器和外部溫度傳感器，可進(jìn)行大氣濕度和溫度補(bǔ)償，用于環(huán)境監(jiān)測站空氣流量校準(zhǔn)。

四．        選型參數(shù)

各種型號的流量計可能會讓你眼花繚亂，如果您自己難以判斷哪種型號合適，也可以聯(lián)系工程師，我們需要知道以下工況參數(shù)來選擇適合您的流量計型號。

1.      應(yīng)用描述：具體用于什么應(yīng)用？泄漏測試一般使用M、MW系列；移動應(yīng)用、流量校準(zhǔn)、環(huán)境監(jiān)測使用MB、MWB系列。

2.      介質(zhì)

1）  成分：測量氣體的具體成分是什么，是否具有腐蝕性或水蒸汽？如果是請使用MS耐腐蝕型號。

2）  壓力：氣源壓力大小，流量計前端、后端壓力大小，是否真空應(yīng)用？對壓損是否有要求？如果氣源壓力小于1bar(G)，或用于低真空，或?qū)簱p有嚴(yán)格要求，無腐蝕性氣體，建議使用MW低壓損型。如果氣源壓力大于1MPa(G)，建議使用MQ。

3）  溫度：氣體溫度和環(huán)境溫度？如果氣體或環(huán)境溫度大于60℃，需要使用耐高溫特殊配置。

3.      流量計參數(shù)配置

1）  量程：流量范圍，小、大流量？需提供換算到質(zhì)量流量的流量范圍以確定量程。

2）  流量單位選擇？SCCM,SLPM, Sm3/h, g/s 等。

3）  STP/NTP：標(biāo)況溫度和壓力配置？

4）  精度：要求多高？常規(guī)精度和高精度可選。

5）  累計流量：是否需要測量累計流量？如是則增加累計流量功能。

6）  通訊：需要配置什么數(shù)字通訊和模擬信號？標(biāo)配RS-232和0-5V模擬量，也可選擇其他。

7）  雙向流量：是否需要測量正反兩個方向的流量？如是則增加雙向標(biāo)定。

4.      流量計硬件配置

1）  屏幕：是否需要配置顯示屏？是否需要屏幕與測量單元分離？

2）  供電：是否需要移動使用，內(nèi)置鋰電池？

3）  管路接口：需要什么螺紋接口？默認(rèn)NPT內(nèi)螺紋。

4）  數(shù)據(jù)線接口：需要什么數(shù)據(jù)線接口？默認(rèn)8針圓頭DIN。

5）  IP等級：防水防塵等級有無要求？

6）  防爆等級有無要求？

7）  泄漏率：要求泄漏率不高于多少？

希望Alicat能夠為您提供合適的流量計，如果有問題歡迎聯(lián)系：晟旗科技！